超純水處理方案有很多種，常見的有多重過濾、離子交換、除氣、逆滲透、紫外線、超濾、納米率、離子吸附過濾等。其中，超純水系統是指系統從原水至超純水完整產生的生產系統。

      一般超純水系統是經由多重過濾，離子交換，除氣，逆滲透，紫外線，超濾，納米率，離子吸附過濾所產生的超純水。

      超純水處理方案有很多種，其中包括：深層過濾、篩網過濾、表面過濾、EDI(電去離子)等。

      深層過濾是以編織纖維或壓縮材料制成的基質，利用隋性吸附或是捕捉方式來留住顆粒，如常用的多介質過濾或砂濾；深層過濾是一種較為經濟的方式，可去除98%以上的懸浮固體，同時保護下游的純化單元不會被堵塞，因此通常做為預處理。

      表面過濾則是多層結構，當溶液通過濾膜時，較濾膜內部孔隙大的顆粒將被留下來，并主要堆積在濾膜表面上，如常用的PP纖維過濾。

      EDI(電去離子)是應用有反滲透系統之后，取代混合離子交換床的成熟技術具有產水品質穩定，運行費用低，操作管理方便。

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